湖南派美科特種氣體有限公司
三甲基硼|三甲基硼混合氣|TMB氣體在國內半導體芯片行業的運用
2023-01-04 17:32
湖南利科德能源科技公司提供的三甲基硼為無色氣體，在空氣中能自燃。與氧化劑反應劇烈， 極微溶于水，易溶于乙醇和乙醚。遇高溫、火種、空氣、氧化性氣 體、氧化劑均有引起燃燒爆炸的危險。三甲基硼烷混合氣（混氫氣、氮氣等）、TMB混合氣體。
| 三甲基硼烷混合氣體 | |||
| 氣體名稱 | 混合氣體 | 混合比率 | |
| 三甲基硼烷 | TMB / H2 ,N2 , Ar , SiH4 | 0.1%~10% | |
包裝規格：4L、8L、44L、47L鋼瓶包裝，規格為2kg、20kg/瓶
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